岛津电子行业解决方案助力新地标——烟气排放在线监测篇

在“十四五”时期半导体行业日益发展壮大，其生产工艺持续向前发展，工艺和原材料使用等方面均有了新的变化。为了适应半导体行业制造技术的新发展以及生态环境管理新需要，上海市生态环境局、上海市市场监督管理局近日发布了《半导体行业污染物排放标准》(DB31/374-2024)。该标准要求新（改、扩）建的半导体行业企业自2024年5月1日起执行，现有半导体企业自2024年10月1日起执行。其中在大气排放管理方面设置了13个有组织大气污染物控制项目，新增氯气、氰化氢、锡及其化合物、苯、苯系物、非甲烷总烃、颗粒物和氮氧化物等8项。设置了氰化氢、氯气、氯化氢、非甲烷总烃等4项指标的无组织控制限值。