岛津电子行业解决方案助力新地标-废水排放在线监测篇

在“十四五”时期半导体行业日益发展壮大，其生产工艺持续向前发展，工艺和原材料使用等方面均有了新的变化。为了适应半导体行业制造技术的新发展以及生态环境管理新需要，上海市生态环境局、上海市市场监督管理局近日发布了《半导体行业污染物排放标准》(DB31/374-2024)。该标准要求新（改、扩）建的半导体行业企业自2024年5月1日起执行，现有半导体企业自2024年10月1日起执行。其中在水污染物排放管理方面设置了21个污染物项目，包含总氮、总磷、化学需氧量、总有机碳、氨氮、总铜、总镉、总镍、总锌等。

半导体行业中对芯片的清洗要求很高，在集成电路制造过程中很多工序都要对芯片进行清洗。除了使用超纯水作为清洗剂，还会使用一些酸碱性溶液、有机溶剂（如显影液、光刻胶、剥离液以及异丙醇溶液）等进行清洗。在刻蚀工艺中还会用一些含氟有机物。因此半导体行业的废水会包含有机废水、酸碱废水、含氟废水等，且水质较为复杂，含有大量有机物，对环境的影响也比较大。