岛津电子行业解决方案助力新地标-烟气排放在线监测篇

烟气排放在线监测篇

岛津电子行业解决方案助力新地标

在“十四五”时期半导体行业日益发展壮大，其生产工艺持续向前发展，工艺和原材料使用等方面均有了新的变化。为了适应半导体行业制造技术的新发展以及生态环境管理新需要，上海市生态环境局、上海市市场监督管理局近日发布了《半导体行业污染物排放标准》(DB31/374-2024)。该标准要求新（改、扩）建的半导体行业企业自2024年5月1日起执行，现有半导体企业自2024年10月1日起执行。其中在大气排放管理方面设置了13个有组织大气污染物控制项目，新增氯气、氰化氢、锡及其化合物、苯、苯系物、非甲烷总烃、颗粒物和氮氧化物等8项。设置了氰化氢、氯气、氯化氢、非甲烷总烃等4项指标的无组织控制限值。

污染源NSA-3090在线监测

岛津NSA-3090烟气在线监测仪始终不断追求在线监测所必须的运行稳定性和维护简便性，同时凭借岛津全新开发的高灵敏度切换式比率红外吸收法测量技术，应对半导体行业烟气超低排放时低浓度NOX的精准监测，同时通过专业的除湿、除细颗粒物等预处理配置，分析仪主检测器寿命更长，整体CEMS系统具有更长时间的低漂移（零点和量程），维护周期间隔更久，运维费用更低，数据有效率高，为用户提供性价比高的烟气排放全生命周期的在线监测解决手段。