岛津UV为半导体检测按下“加速键”

目前,随着智能驾驶、人工智能、5G技术的快速发展,正促使半导体技术的不断迭代,芯片性能标准与制造工艺要求持续提升。岛津作为一家百年分析检测仪器制造商,丰富的仪器产品线为半导体行业的检测提供了多种检测方案。无论是从基础原材料的元素分析,还是到成品芯片缺陷的测定,都有对应的解决方案。

其中,在芯片制造的光刻胶环节,193nm是常用的测试波长,紫外可见分光光度计作为岛津明星产品,即使不使用氮气吹扫,也能获得对应波长处的准确结果。

如图为不使用氮气吹扫时,在190nm附近获得的良好透过率光谱。

SHIMADZU

两款岛津大紫外产品

岛津紫外可见近红外分光光度计SolidSpec-3700iDUV, 是一款专用于深紫外测试仪器(165~3300nm),对应的光电倍增管检测器,使用了特制材料。积分球内壁涂层也为具有高反射性能的特殊树脂。

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SolidSpec-3700iDUV

大样品仓适合各种附件的安装

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SolidSpec-3700iDUV

短波长测定助力半导体检测

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SolidSpec-3700iDUV

自动X-Y样品台满足透过率和反射率的分布测定

@紫外可见近红外分光光度计SolidSpec-3700iDUV

 

同时岛津也有桌面式的紫外可见近红分光光度计UV-3600i Plus。满足常见薄膜、滤光片等光学材料的测定及液体的紫外可见近红外分析。

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UV-3600i Plus

配备三种检测器,实现高灵敏度测定

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UV-3600i Plus

超低杂散光,满足高分辨率测定

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UV-3600i Plus

190~3300nm的宽波长范围

@紫外可见近红分光光度计UV-3600i Plus

 

本文内容非商业广告,仅供专业人士参考。

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