表面分析仪器（SPM、EPMA、XPS）关开机

1.实验测试结束后，请抬高探针，如Release10步；

2.抬高探针后，请取出探针架及样品，并盖上环境舱盖子；

3.盖上盖子后，请关闭SPM online操作软件；

4.闭软件后，请关闭电脑及显示器；

5.关闭电脑后，请关闭SPM控制箱，即SPM CONTROL UNIT；

6.关闭控制箱后，请关闭变压器（220V-100V），并确认气体（如氮气）分压阀及总阀关闭；

7.确认总电源是否需要关闭。

8.将探针从探针架上取下，分别收纳保存。

1.开机前检查总的电器开关、连接是否正常；房间温湿度是否达标；

2.开启总电源；开启变压器（220V-100V）；

3.开启变压器后，请开启主动减震台；

4.开启减震台后，请开启SPM控制箱，即SPM CONTROL UNIT，请确认控制箱绿色电源灯亮起；

5.开启控制箱后，请在确认控制箱Ready灯亮起（黄色）后，开启电脑及显示器；

6.开启电脑后，请开启SPM online操作软件；

7.请安装合适的探针，打开光纤灯，调节光路，光路粗调完毕后请关闭光纤灯；

8.选择需要的模式，进行仪器调试及样品测试。

一、春节假期，如果仪器能正常供电，可选择待机模式（真空运转模式）：

1. 收拾整理好样品和工具；标样可留在仪器主腔体内保持真空状态，试样可取出放于干燥器皿或电子干燥柜中；

2. 计算机Observer窗口中，选择关闭发射电流Emission和高压AccV；菜单System中选择Standby即可；

3. 检查水、电、气、门、窗。

二、如果假期有可能停电，可选择关闭整个系统（全关闭模式）：

1.工作结束后收拾规整样品、标样和各种工具，注意保存数据；标样可放置于仪器主腔体内。试样在真空状态下若稳定性不够，需取出放置于干燥器皿或电子干燥柜中保存；

2.计算机Observer窗口中，关闭Emission发射电流和高压AccV；在System菜单中选择Shut down，待窗口显示Main switch can be turned OFF后（约10分钟）可关闭主机电源；

3.计算机Analysis窗口中，选择关闭软件及计算机；

4.关闭附属设备，包括PR气和循环冷却水（在主机关闭60分钟以后操作）；

5.关闭主电源。

一、从待机模式开启：

1.请确认水、电、气正常工作；

2.在Observe计算机下System菜单中选择Startup system；

3.确认初始化谱仪和样品台；

4.真空达到后，加载高压AccV和发射电流Emission；

5.待束流稳定后，进行合轴操作，即可正常工作。

二、从全关闭模式开启前，请先确认一下：

检查电源总开关、连接是否正常；环境是否达到要求。

1.查看循环水水质，可在关机状态下更换循环水，检查循环水设备的排气网，有灰尘时，要注意清理；

2.检查机械泵油位和油质，及时添加或更换，并检查机械泵开关总是处于打开状态；

3.检查气瓶的气体余量，当压力不足时及时更换；

4.确认空压机处于打开状态、打开PR气和循环水设备；

5.依次打开控制柜电源，给仪器和附件供电；

6.主机开关打开（Observe计算机会自动启动）；

7.打开Analysis计算机，并打开控制软件，联机到EPMA主机；

8.计算机Observer窗口中，在System菜单中选择Startup System，自动初始化谱仪和样品台；

9.当真空达到要求后（Operation变为绿色），可加载高压及电流；

10.  待束流稳定后，可正常工作。

以上针对EPMA-1720系列，如您使用EPMA-1600系列、EPMA-8050G可参考手册，如有疑问请随时与岛津工程师联系。

一、对于假期期间可以正常供电的用户：（强烈建议保持待机状态）

1.实验结束后，请将已测试样品传输至预抽室；

2.确保预抽室与主真空室阀门关闭，将样品从预抽室取出；

3.取出样品后，关闭预抽室腔门，点击Pump，抽真空；

4.若未配备空压机，需检查气体（普氮），确保余气充足（使防震气垫正常工作）。

二、对于假期期间可能停电的用户：（全关闭状态）

1.实验结束后，请将已测试样品传输至预抽室；

2.确保预抽室与主真空室阀门关闭，将样品从预抽室取出；

3.取出样品后，关闭预抽室腔门；

4.关闭高纯氮进气阀，对没有空压机客户保持普氮进气阀开启状态（使防震气垫正常工作）；

5.关闭离子枪、UPS与主真空连接阀门及三个Backing阀门，关闭分子泵，关闭真空规，关闭粗抽泵；

6.关闭X射线源、X射线高压、磁透镜、离子枪、分析器、偏压控制单元按钮。关闭VCU单元的Protected Mains按钮。

7.关闭仪器背后真空、Motor及处理器控制单元；

8.关闭计算机，关闭仪器空气开关（由左至右），最后关闭水冷机。

9.确认是否关闭电源总开关。

以上为针对Axis Supra的常规开关机注意事项，Axis Ultra、AMICUS系列请参看相关操作手册。 

一、对于假期期间保持待机的用户：

1.检查气体及循环水后，仪器可正常开启；

2.检查高纯氮余气，建议正常测试前对灯丝、阳极靶进行脱气。

二、对于假期期间关机的用户：

先检查总电源开关是否正常；环境是否达到要求

1.开启总电源；

2.检查气体及循环水水质，确认是否需要更换循坏水；

3.开启循环水；

4.开启主机空气开关（由右至左，Baking开关保持关闭）；

5.开启Protected Mains按钮及关闭的各控制单元按钮；

6.开启计算机，启动软件；

7.开启关闭的三个Backing阀，涡轮泵预抽约半小时后打开真空规；

8.确认真空后开启分子泵及关闭的两个连接阀门；

9.检查高纯氮余气，开启高纯氮进气阀；

10.建议正常测试前对灯丝、阳极靶进行脱气。

以上为针对Axis Supra的常规开关机注意事项，Axis Ultra、AMICUS系列请参看相关操作手册。