集成电路背后的英雄：电子特气纯度分析大挑战！
什么是电子特气
电子特气是指专用于电子领域的特种气体。在集成电路领域，电子特气应用于前端晶圆制造的各个环节，如清洗、沉积、氧化成膜、光刻、刻蚀、掺杂等。电子特气种类繁多，仅在晶圆制造的核心工段就涉及40多种。根据成分与用途，电子特气可以大致分为光刻用气、刻蚀用气、掺杂用气、外延沉积用气等，如含氟特气（三氟化氮、六氟化硫、六氟乙烷等）具有腐蚀性，常用于刻蚀工艺。氢气、氩气等惰性气体则常用做环境气和稀释气。
相较于普通工业气体，电子特气对纯度、质量稳定性与一致性、包装容器等方面有更高的要求。例如，普通工业气体要求在99.99%左右，而在集成电路制造过程中，气体纯度通常要求5N（99.999%）以上。随着集成电路制造工艺的不断升级，对电子特气纯度等性能的要求也在持续提高。
赋能创“芯” | 岛津特色电子特气
解决方案
电子特气的纯度直接影响晶圆和半导体器件的质量、成品率、性能等关键指标。随着电子特气纯度要求的提高，对于电子特气的检测要求也更为严苛。电子特气中常见的杂质主要分为金属和非金属两大类。金属杂质主要是一些痕量金属粒子，非金属杂质则主要包括H2、O2、N2、CO、CO2等无机物及HF、烃类化合物等有机物。针对电子特气检测，岛津丰富产品线可提供多元化的检测方案。
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电子特气在集成电路领域应用情况及检测方案
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岛津电子特气分析解决方案
应用案例一
气相色谱法快速测定电子特气三氟化氮中的杂质
采用气相色谱仪，双通道，两阀四柱，双TCD系统，实现主要杂质H2、CF4、CO2、N2O等成分分析，数据重现性良好，并表现出优良的检出限。
系统气相GC-2030
应用案例二
气相色谱法测定高纯氢气中的杂质
采用气相色谱仪结合高灵敏度、通用型BID检测器，六通阀进样，分析高纯氢气中微量O2、N2、CH4、CO、CO2，具有灵敏度高、稳定性强的特点。
应用案例三
电感耦合等离子体质谱法测定电子工业用氩气中多种金属含量
使用溶液吸收法对样品进行前处理，并利用电感耦合等离子体质谱仪ICPMS-2050 LF测定气体中的40多种金属元素，方法灵敏度高，准确度好。
岛津电感耦合等离子体质谱仪ICPMS-2050 LF
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电子特气作为集成电路制造过程中至关重要的原材料，其质量保证的重要性不言而喻。岛津始终秉持“以科学技术为社会做贡献”的宗旨，充分利用多种仪器设备的特点，开发多个电子特气检测方法，为芯片的安全制造提供保障！
撰稿人：赵晶
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