关于半导体行业的水质在线监测，岛津的答案是…
2023年1月，安徽省生态环境厅发布了关于《半导体行业水污染物排放标准》（DB34/ 4294—2022）的解读，该标准于2023年1月1日起实施（新建半导体企业自 2023 年 1 月 1 日起执行，现有企业自2025 年 1 月 1 日起执行），适用于半导体企业（包括从事半导体分立器件或集成电路的制造、封装测试的企业）水污染物排放管理等场景。与生态环境部发布的《电子工业水污染物排放标准》（GB 39731-2020）相比， DB34/ 4294—2022在部分指标限值方面更加严格，并增加了特别排放限值指标。其中化学需氧量直接排放限值（60mg/L）收严40%，氨氮直接排放限值（10mg/L）收严60%，总氮直接排放限值（15mg/L）收严57%，总有机碳直接排放限值（20mg/L）收严33%。这就意味着，在安徽半导体企业的污水排口，这些水污染物排放的标准更加严格。
为确保能够达标排放，企业可采用水质在线监测仪实时测定排放水质。岛津水质在线监测仪TOC-4200/NHN-4210/TNP-4200可以带来稳定、可靠、准确的答案。灵活的设计让仪器能在现场根据实际水质条件来设置量程。经典八通阀——注射泵系统可以精确计量，得到更准确地测量结果。高品质仪器确保其在现场能够连续稳定运行。
稳定
可靠
准确
其实，除了排口需要进行水污染物的监测，半导体企业生产制作过程中所使用的纯水也需要进行监测，其目的是确保水质达到生产过程使用标准，简单的说就是要确保水质十分干净才行。总有机碳(TOC)是表示水中有机物质含量的量化指标,可反应水质情况,确保半导体制作产品的质量和生产率。
岛津的两款总有机碳在线分析仪，可以根据不同的工艺特点、水质情况进行应对。
半导体企业在制备生产过程所需的超纯水时，反渗透、混场、超滤等工艺的出口的水质相对干净，TOC浓度低，要求仪器具有高灵敏度，且需长时间稳定测量，及时反应纯水制备过程可能发生的水质波动。超纯水在线TOC分析仪(TOC-1000e)具有超高灵敏度，可很好应对干净纯水的测定。
而对于原水、回用水、企业排口等有机污染物含量较高、成分相对复杂的水质，可应用燃烧氧化--非分散红外吸收法（TOC-4200）进行监测，由于高温燃烧相对彻底，水样氧化充分，检测更精确。
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