岛津半导体行业整体解决方案——TOC分析仪在超纯水中的应用

TOC分析仪在超纯水中的应用

岛津半导体行业整体解决方案

 

 

半导体行业的很多工艺都需要进行清洗工序,清洗剂多为超纯水。超纯水的品质对产品的良率有着至关重要的影响,为确保超纯水水质满足生产需要,要控制水中各种参数的量,总有机碳是重要的参数之一,表示水中有机物质含量的量化指标,可快速反映水质情况。

针对半导体行业超纯水制备环节,可以根据不同使用场景和用途,去选择合适的TOC分析仪。

 

 

超滤的终端出水、混床、反渗透等工艺出水TOC浓度较低,需要的在线监测仪器可以选用TOC-1000e。TOC-1000e具有灵敏度高、体积小巧、性能优越、简单易用、稳定可靠等特点,可很好应对超纯水的测定。

采样无汞准分子灯结合“Active-Path”技术,同时实现高测量性能和卓越的环保效应。

准分子灯 + Active-Path = 强氧化能力

 

而对于回收水、原水等TOC浓度高、水质相对比较复杂的点位,可以选用TOC-4200进行监测。燃烧法TOC对水样氧化充分,检测精确,具有流程简单、反应快速、重现性好、灵敏度高、稳定可靠、测定过程一般不消耗化学药品、不产生二次污染等特点。

 

回收水的监测案例

岛津的燃烧法TOC-4200在线分析仪,最短测量时间为5分钟,仪器不仅测量准确,而且快速,所以能够很好的应对这样的应用场景。

 

此外,如您需要实验室TOC,岛津也有相应的设备可以供您选择。

 

我们将从超纯水制备环节、制造工艺过程及封装工艺、废水废气排放等环节,分几期介绍岛津半导体行业整体解决方案。

🔘岛津半导体行业整体解决方案-概述

🔘岛津半导体行业整体解决方案-TOC分析仪在超纯水中的应用

🔘岛津半导体行业整体解决方案-制造、封装过程

🔘岛津电子行业解决方案助力新地标-废水排放在线监测篇

🔘岛津电子行业解决方案助力新地标-烟气排放在线监测篇

🔘岛津电子行业解决方案助力新地标-VOC排放在线监测篇

 

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