岛津TOC技术：精准检测，助力高纯度制造
在半导体制造过程中，纯净度是决定产品性能的关键因素之一。总有机碳分析仪（TOC）作为高精度检测工具，在半导体材料及制程中发挥着重要的作用。无论是超纯水、化学品，还是气体、材料的有机污染物检测，TOC分析仪都能提供快速、准确的测量，确保生产环境的洁净度。
TOC-1000e
半导体制造对超纯水的要求极高，TOC分析仪可实时监测水中微量有机碳含量，确保水质符合工艺标准。岛津 TOC-1000e采用UV氧化-电导率测量方式，具备超高灵敏度，非常适合进行超纯水的品质管理。
TOC-1000e
使用TOC-1000e，以10分钟为周期在线测量超纯水。测量结果日报如下表所示。日报中显示测量时间、TOC浓度值、电导率、温度的一览表。从TOC 结果的趋势图中可以看出，TOC 浓度稳定在 4.7~ 5.0 ppb 的范围内。
日报表
TOC测量值的趋势图
通过实时在线监测，可以及时发现并排除潜在污染源，保障生产环境的安全与稳定。
TOC-L CPH
在半导体制造过程中，高纯过氧化氢（H₂O₂）广泛用于清洗、刻蚀、表面处理和化学机械抛光等环节，这些高纯化学品中的微量有机杂质可能会严重影响产品质量，因此需要严格控制试剂中的总有机碳含量。
岛津 TOC-L CPH总有机碳分析仪
岛津TOC-L CPH总有机碳分析仪
样品无需处理，直接上机分别测试总碳(TC)及无机碳(IC)，利用差减法获得总有机碳含量TOC=TC-IC。
TC标准曲线
IC标准曲线
每个样品重复测试2次，样品测试轮廓图及结果如下：
过氧化氢-TC
过氧化氢- IC
双氧水中TOC测试结果
TOC总有机碳分析仪是半导体制造中重要的检测工具，而岛津TOC分析仪凭借其高灵敏度、快速响应和智能化操作，成为半导体行业用户的不错之选。
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